泵，是一種用來移動液體、氣體或特殊流體介質的裝置，即是對流體作功的機械。它將原動機的機械能或其他外部能量傳送給液體，使液體能量增加。
最新推出iXH500H系列干泵
真空和尾氣處理設備及服務供應商Edwards公司擴展其廣受歡迎的應用于嚴苛工藝的iXH產品系列最新推出iXH500H系列干泵新的500m3/h干泵系列針對需要較高氣體流量和靈活泵溫范圍的平板顯示器太陽能和先進半導體工藝而優化具有較低的能耗和較長的平均維護間隔時間mean time between servicing MTBS從而顯著降低了擁有成本同時具備iXH450系列的小占位面積和氫氣抽取能力
Edwards平板顯示器FPD和太陽能部門干泵產品經理Allister Watson博士表示iXH家族的新增系列設計用于應對平板顯示器太陽能和先進半導體工藝中遇到的不同抽取挑戰能夠顯著延長泵的平均維護間隔時間迄今為止行業缺乏具有應對這些不同挑戰靈活性的一體化嚴苛工藝干泵而iXH500H系列具有更靈活地泵溫控制能夠滿足這一需求同時減少多達15%的能耗因而相比上一代iXH干泵iXH500H的擁有成本降低了30%
平板顯示器太陽能和半導體制造商使用的真空泵必須適應廣泛的工作條件和材料iXH500H系列具有溫度靈活性因而適用于這類嚴苛工藝iXH500H系列在低泵溫下運行有益于使用高流量腐蝕性氣體的工藝例如FPD PECVD薄膜太陽能PECVD半導體MOCVD或使用熱敏前體（pre-cursor）例如原子層沉積能夠在泵內沉淀副產物的工藝在有副產品物在泵內冷凝風險例如高k電介質沉積的場合可以選擇高工作溫度的泵
Edwards現可提供iXH500H系列干泵并提供從現有的iXH450系列轉換至新型iXH500H系列的升級服務
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