一電磁閥閥芯檢漏原因:

由于半導體工業上用的氣體如硅烷SiH4,氨氣NH3等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對所用的閥及相關部件,漏率要求非常嚴格,要求成品最終漏率低于5-10mbarl/s,而這樣的漏率要求也只有氦質譜檢漏儀能達到了.

二電磁閥閥芯檢漏方法

大概的檢測過程為:來料用放大鏡目視檢測,激光焊接完成后再目視檢測,最后用氦氣質譜檢漏儀做最后檢測,漏率值以氦氣檢漏儀測出的數據為準.

客戶以前用的是日本某品牌的檢漏儀,現在新上的項目都改為德國Pfeiffer的HLT560這一款檢漏儀,這是因為,只有德國Pfeiffer的HLT560能滿足這么高的漏率值測試,且數據可靠.另外還具有操作簡單,生產效率高的優點.

三電磁閥閥芯檢漏操作說明

1,先將閥接入工裝,形成一個密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.

2,啟動氦質譜檢漏儀,檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時顯示一個漏率值.

3,在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.

4,如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對象質量不合格.如果漏率值能達到要求,該被檢對象合格,檢漏檢測完成.