我國這幾年在電子信息產(chǎn)業(yè)方面的發(fā)展迅速在過去的一年里我國電子信息產(chǎn)業(yè)銷售額突破了十個億比之前年增幅達到了百分之十五與此同時帶動了整個電子特種氣體的市場需求量過去由于我國在氣體生產(chǎn)儲存提純方面技術(shù)不夠完善一些電子工業(yè)用氣如氨氣四氟化碳氯化氫都是需要依賴進口的從我國電子產(chǎn)業(yè)長遠發(fā)展角度出發(fā)我國必須打破氨氣四氟化碳氯化氫被國外壟斷的情況

記者在2013年5月舉辦的特種氣體年會報告中了解得知廣州市譜源氣體有限公司宣布經(jīng)過不懈的努力公司已經(jīng)掌握了高純氨氣高純四氟化碳高純氯化氫的提純技術(shù)為電子工業(yè)用氣的國有化做出了重要貢獻

高純氨氣NH3是電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體高純氨氣跟硅烷高純氬氣Ar用于薄膜太陽能電池的制造,也用于LED電子行業(yè)氨氣具有強腐蝕性和毒性而且具有刺激性臭味易溶于水目前國產(chǎn)高純氨氣已經(jīng)占到國內(nèi)市場需求的一大半相信以后會完全取代國外氣體公司滿足中國在ICLED太陽能電池等領(lǐng)域的需求

高純四氟化碳CF4 目前四氟化碳主要應用于微電子工業(yè)中的等離子蝕刻廣泛應用于硅二氧化硅氮化硅磷硅玻璃及鎢膜材料的銹蝕同時也應用于電子元件的清洗四氟化碳又叫做四氟甲烷是一種鹵代烴無色無臭不可燃揮發(fā)性較高是最穩(wěn)定的有機化合物之一據(jù)廣州譜源公司特氣部主管透露目前公司可以生產(chǎn)純度達99.999%的高純四氟化碳產(chǎn)量基本可以滿足珠江三角洲地區(qū)電子工業(yè)的需求

高純氯化氫HCL主要應用于大規(guī)模集成電路單晶硅片氣相拋光外延機座腐蝕等氯化氫是一種無色有刺激性氣味的氣體易溶于水遇水是有強腐蝕性遇氰化物產(chǎn)生劇毒性氣體氰化氫目前高純氯化氫已經(jīng)可以滿足國內(nèi)市場的需求

隨著國內(nèi)氣體企業(yè)對電子氣體的重視國內(nèi)氣體公司在技術(shù)方面也漸漸的追上了國外氣體公司涌現(xiàn)出了一批以廣州譜源氣體有限公司為代表的具有創(chuàng)新性和活力的氣體公司