真空鍍膜機操作要領
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜具體包括很多種類包括真空離子蒸發磁控濺射MBE分子束外延PLD激光濺射沉積等很多種主要思路是分成蒸發和濺射兩種
真空鍍膜機操作程序具體操作時請參照該設備說明書
和設備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標注說明
①檢查真空鍍膜機各操作控制開關是否在"關"位置
②打開總電源開關設備送電
③低壓閥拉出開充氣閥聽不到氣流聲后啟動升鐘罩閥鐘罩升起
④安裝固定鎢螺旋加熱子把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上把鋁絲穿放在螺旋加熱子內清理鐘罩內各部位保證無任何雜質污物
⑤落下鐘罩
⑥啟動抽真空機械泵
⑦開復合真空計電源（復合真空計型號Fzh-1A
a.左旋鈕1順時針旋轉至指向2區段的加熱位置
b.低真空表2內指針順時針移動當指針移動至110mA時左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置
⑧當低真空表2內指針再次順時針移動至6.7Pa時低壓閥推入這時左旋鈕1旋轉至指向1區段測量位置
⑨真空鍍膜機開通冷卻水啟動擴散泵加熱40min
⑩低壓閥拉出重復一次⑦動作程序左下旋鈕1轉至指向2區段測量位置低真空表2內指針順時針移動當指針移動至6.7Pa時開高壓閥（閥桿順時針旋轉）
?等低真空表2內指針右移動至0.1Pa時開規管燈絲開關
真空鍍膜機a.發射零點測量鈕9旋轉至指向發射位置
b.左下旋鈕1旋轉至指向1區段測量位置
?旋轉發射調節鈕4使高壓真空表5內指針指向5
?發射零點測量旋鈕9旋轉至指向零點位置
?旋轉零點調節鈕10讓高壓真空表5內指針指向0位置
?發射零點測量旋鈕9旋轉至指向測量位置
?旋轉標準調節鈕3讓高壓真空表5內指針指向10
?旋轉倍加器開關鈕8至指向10-12當高壓真空表5內指針逆時針左移超過1時再把倍加器開關旋鈕8旋轉至指向10-3
?當高壓真空表5內指針逆時針移動超過6.7Pa時開工件旋轉鈕開關鐘罩內被鍍件PVDF膜轉動
?開蒸發鈕開關把電流分插塞插入蒸發電極分配孔內（設有1234孔可插入任意一孔）
?右手旋轉右側調壓器手輪慢慢旋轉升壓
a.從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況
b.當鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色鋁絲開始熔化時左手操作擋板鈕移開鎢螺旋上方擋板
c.鋁絲全部熔化蒸發擋板回原位
d.右手旋轉調壓器手輪回零位第一次蒸鍍工作完成
21.如果再想蒸鍍一次（為了增加電極金屬層厚度）把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔重復?操作動作
22.關閉規管燈絲開關關閉高壓閥（逆時針轉手柄）關閉工件旋轉關閉蒸發旋轉機械泵鈕至指向擴散泵位置
23.低壓閥拉出鐘罩充氣充氣一段時間當沒有氣.聲時升鐘罩
24.真空鍍膜機的鎢螺旋加熱子內加鋁絲PVDF薄膜調換另一面向下（原下面已鍍一層鋁膜面向上）緊固在轉動圓盤上
25.落鐘罩開機械泵
a.左下旋鈕1旋轉至指向2區段測量位置
b.當低壓真空表2內指針順時針移動到6.7Pa時低壓閥推入
c.左下旋鈕1旋轉至指向1區段測量位置
d.當低壓真空表2內指針順時針移動到6.7Pa時開高壓閥旋鈕1旋轉至指向2區段測量位置
e.當低壓真空表2內指針順時針移動到指向0.1Pa時開規管燈絲
f.由?開始重復操作至?
26.PVDF薄膜蒸鍍完鋁層后按順序關閉規管燈絲高壓閥機械泵擴散泵把低壓閥拉出鐘罩充氣充氣完畢后升鐘罩取出工件做好鐘罩內清理工作
a.落下鐘罩
b.開機械泵抽3~5min停機械泵
c.切斷供電總開關
d.1h后再關閉冷卻水操作全部完成
27.真空鍍膜機正常生產中如遇到突然停電時要立即切斷高真空測量關閉規管燈絲高壓閥低壓閥拉出來電后先讓機械泵啟動工作3~5min后再轉入正常生產
