拋光液是一種不含任何硫、磷、氯添加劑的水溶性拋光劑，的拋光液具有良好的去油污，防銹，清洗和增光性能，并能使金屬制品超過原有的光澤。本產(chǎn)品性能穩(wěn)定、無毒，對(duì)環(huán)境無污染等作用。
國內(nèi)外硅片拋光液的分類磨料和現(xiàn)狀情形
拋光液以其優(yōu)越性能可靠品質(zhì)贏得了廣大用戶信賴使用戶獲得最合理拋光工藝最優(yōu)拋光質(zhì)量最佳效率產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車摩托車航空發(fā)動(dòng)機(jī)壓縮機(jī)內(nèi)燃機(jī)紡織機(jī)械鋁型材鋅鋁鑄件非鐵金屬鑄件不銹鋼精密鑄件本產(chǎn)品能提高磨削效率減少磨具磨損對(duì)工件有保護(hù)及潤滑作用提高工件表面光潔度光亮度根據(jù)各種材質(zhì)工件滾拋需要研制成不同磨液供用戶自行選擇
1965年美國孟山都公司世界上首先提出了二氧化硅溶膠凝膠應(yīng)用于硅晶圓片拋光加工專利從此半導(dǎo)體用拋光液（slurry）成為了半導(dǎo)體制造重要必不缺少輔助材料半導(dǎo)體硅片拋光工藝銜接材料與器件制備邊沿工藝它極大地影響著材料器件成品率并肩負(fù)消除前加工表面損傷沾污以及控制誘生二次缺陷雜質(zhì)雙重任務(wù)特定拋光設(shè)備條件下硅片拋光效果取決于拋光劑及其拋光工藝技術(shù)隨著集成電路集成度不斷提高相應(yīng)要求亦有所提高不但直徑要增大技術(shù)要求也相應(yīng)地提高并不斷有新要求出現(xiàn)
采用SiO2拋光液進(jìn)行硅片拋光加工目前多采用化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)拋光工藝有粗拋光精拋光之分故有粗拋光液精拋光液品種之分預(yù)計(jì)2005年-2010年期間我國半導(dǎo)體拋光片業(yè)內(nèi)整體需求拋光液量每年會(huì)以平均增長率為25%比率增長2004年間使用SiO2拋光液總共約157噸其粗拋液有約126噸,精拋液有約31.5噸
目前我國半導(dǎo)體硅拋光片加工所使用拋光液絕大多數(shù)都靠進(jìn)口國外半導(dǎo)體硅拋光液市場占有率較高生產(chǎn)廠家主要有美國Rodel&OndenNalco美國DUPONT公司日本FUJIMI公司等盡管我國目前拋光液行業(yè)現(xiàn)已發(fā)展到有幾十家企業(yè)但真正涉足到半導(dǎo)體硅片拋光液制造研發(fā)方面企業(yè)很少無論產(chǎn)品質(zhì)量上還市場占有率方面國內(nèi)企業(yè)都表現(xiàn)出與國外廠家具有相當(dāng)差距
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