多晶硅的生產技術有哪些？
多晶硅的生產技術主要為改良西門子法和硅烷法西門子法通過氣相沉積的方式生產柱狀多晶硅為了提高原料利用率和環境友好在前者的基礎上采用了閉環式生產工藝即改良西門子法該工藝將工業硅粉與HCl反應加工成SiHCl3 再讓SiHCl3在H2氣氛的還原爐中還原沉積得到多晶硅還原爐排出的尾氣H2SiHCl3SiCl4SiH2Cl2 和HCl經過分離后再循環利用硅烷法是將硅烷通入以多晶硅晶種作為流化顆粒的流化床中使硅烷裂解并在晶種上沉積從而得到顆粒狀多晶硅改良西門子法和硅烷法主要生產電子級晶體硅也可以生產太陽能級多晶硅
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