多晶硅的西門子法是怎樣？
西門子法是由德國Siemens公司發明并于1954年申請了專利1965年左右實現了工業化經過幾十年的應用和發展西門子法不斷完善先后出現了第一代第二代和第三代第三代多晶硅生產工藝即改良西門子法它在第二代的基礎上增加了還原尾氣干法回收系統SiCl4回收氫化工藝實現了完全閉環生產是西門子法生產高純多晶硅技術的最新技術其具體工藝流程如圖1所示硅在西門子法多晶硅生產流程內部的循環利用
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