光柵尺由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成標尺光柵一般固定在機床活動部件上光柵讀數頭裝在機床固定部件上指示光柵裝在光柵讀數頭中

光柵檢測裝置結構光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數頭它由光源會聚透鏡指示光柵光電元件及調整機構等組成標尺光柵和光柵讀數頭相對移動標尺光柵的條紋和光柵讀數頭的條紋（莫爾條紋）產生明暗信號由讀數頭的電路轉換成信號輸出

光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中,可用作直線位移或者角位移的檢測

一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上隨機床走刀而動讀數頭固定在床身上盡可能使讀數頭安裝在主尺的下方其安裝方式的選擇必須注意切屑切削液及油液的濺落方向如果由于安裝位置限制必須采用讀數頭朝上的方式安裝時則必須增加輔助密封裝置另外一般情況下讀數頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上此時輸出導線不移動易固定而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）