光柵尺的工作原理和種類
光柵尺也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器）是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中可用作直線位移或者角位移的檢測其測量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖具有檢測范圍大檢測精度高響應(yīng)速度快的特點(diǎn)例如在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測來觀察和跟蹤走刀誤差以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用
工作原理
莫爾條紋
以透射光柵為例當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí)在光源的照射下位于幾乎垂直的柵紋上形成明暗相間的條紋這種條紋稱為莫爾條紋 右圖所示嚴(yán)格地說莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度以W表示W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ
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