[2]真空過濾器是將從大氣中吸入的污染物（主要是塵埃）收集起來以防止63, 136, 191">真空系統(tǒng)中的元件受污染而出現(xiàn)故障故吸盤與63, 136, 191">真空發(fā)生器（或63, 136, 191">真空閥）之間應(yīng)設(shè)置63, 136, 191">真空過濾器63, 136, 191">真空發(fā)生器的排氣口63, 136, 191">真空閥的吸氣口（或排氣口）和真空泵的排氣口也都應(yīng)裝上消聲器這不僅降低噪聲而且能起過濾作用以提高63, 136, 191">真空系統(tǒng)工作的可靠性
    對(duì)63, 136, 191">真空過濾器的要求是濾芯污染程度的確認(rèn)簡單清掃污染物容易結(jié)構(gòu)緊湊不致使真空達(dá)到時(shí)間增長
    真空過濾器安裝時(shí)注意進(jìn)出口方向不得裝反配管不得有泄漏維修時(shí)密封件不得損傷過濾器進(jìn)口壓力不要超過0.5MPa這可靠調(diào)節(jié)閥和63, 136, 191">節(jié)流閥來保證真空過濾器內(nèi)流速不大空氣中的水分不會(huì)凝結(jié)

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